وصف المنتجات

تعتبر الحلقة الخزفية لأشباه الموصلات -مكونًا خزفيًا متخصصًا عالي الأداء يُستخدم في المراحل الحرجة من عمليات تصنيع أشباه الموصلات. يتم تصنيعه عادةً من مواد سيراميكية عالية الدقة-نقائية وعالية الكثافة-ويتميز بهيكل حلقي دائري. إنه بمثابة جزء مستهلك رئيسي داخل غرف التفاعل لمعدات أشباه الموصلات المستخدمة في عمليات مثل الانتشار والأكسدة وترسيب البخار الكيميائي (CVD) والحفر.

وتشمل وظائفها الأساسية دعم رقائق السيليكون (أو تشكيل بيئات معالجة غازية محددة وحقول تدفق موحدة) مع تحمل ظروف التشغيل القاسية-بما في ذلك درجات الحرارة المرتفعة والغازات شديدة التآكل وقصف البلازما والتدوير الحراري السريع. لذلك، يؤثر أدائها بشكل مباشر على استقرار العملية، والتوحيد، والتحكم في تلوث الجسيمات، وفي النهاية إنتاج منتج الرقاقة النهائي.

Semiconductor Ceramic Rings

تفاصيل المنتج

اسم المنتج	حلقة سيراميك لأشباه الموصلات
لون	مخصصة وفقا لمتطلبات العميل
مقاس	مخصصة وفقا لمتطلبات العميل
التعبئة والتغليف	كرتون / منصة نقالة / علبة خشبية (حسب متطلبات العميل)
موعد التسليم	المنتج القياسي-في غضون 3 أيام
تصميم العناصر	وفقا لرسم العميل أو العينات
سمات	نوعية جيدة، سعر منخفض، مصانع متعددة، يتم توصيلها إليك بناءً على أقربها إلى موقعك
طلب	السيراميك الصناعي
شهادة	إسو، سي

خصائص الأداء الرئيسية

مادة عالية النقاء

إن اختيار المواد الخام الخزفية عالية النقاء-يعمل بشكل فعال على تقليل تداخل الشوائب في عملية تصنيع أشباه الموصلات. عادةً ما تكون الحلقات الخزفية لأشباه الموصلات مصنوعة من مواد خزفية عالية النقاء-، مثل أكسيد الألومنيوم ونيتريد السيليكون وما إلى ذلك. وتتميز بصلابة عالية للغاية ويمكنها تحمل الضغط الميكانيكي أثناء المعالجة، مما يضمن بشكل فعال معدل الإنتاج واستقرار أداء الشريحة.

مقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية

في تدفق العمليات المعقدة لتصنيع أشباه الموصلات، يجب تنفيذ العديد من خطوات العملية الأساسية، مثل الانتشار والتليين، في بيئات قاسية{0} ذات درجات حرارة عالية. وقد أظهرت الحلقة الخزفية شبه الموصلة أداءً استثنائيًا في هذا الصدد، ويمكنها تحمل درجات حرارة عالية تصل إلى مئات أو حتى آلاف الدرجات. حتى في ظل ظروف درجات الحرارة المرتفعة للغاية، لا يزال بإمكان الحلقة الخزفية لأشباه الموصلات أن تحافظ بقوة على القوة الميكانيكية الجيدة والسلامة الهيكلية. علاوة على ذلك، بغض النظر عن مواجهة التغيرات السريعة في درجات الحرارة العالية أو المنخفضة، فإن الحلقة الخزفية لأشباه الموصلات لن تظهر أي ظروف معاكسة مثل التشوه أو التشقق أو التليين. وهذا يوفر دعمًا قويًا وموثوقًا- للتقدم السلس للعمليات ذات درجات الحرارة العالية-في تصنيع أشباه الموصلات، مما يؤدي إلى تحسين جودة وإنتاجية الرقائق بشكل كبير.

استقرار كيميائي ممتاز

تتمتع الحلقات الخزفية شبه الموصلة بثبات كيميائي ممتاز، ومقاومة ممتازة للتآكل لمجموعة متنوعة من المواد الكيميائية، ويمكن أن تظل مستقرة في بيئات المعالجة القاسية، مما يضمن نقاء وموثوقية عملية تصنيع الرقائق.

التحكم الدقيق في الحجم

يمكن لعملية تصنيع الحلقات الخزفية شبه الموصلة أن تحقق دقة أبعاد عالية للغاية. يمكن التحكم بدقة في معلمات الحلقة الخزفية شبه الموصلة مثل القطر الداخلي والقطر الخارجي والسمك واستواء السطح ضمن تفاوتات صغيرة للغاية. في معدات تصنيع الرقائق، يعد هذا التكيف الدقيق للأبعاد أمرًا بالغ الأهمية. يمكن أن تتعاون الحلقة الخزفية لأشباه الموصلات بشكل مثالي مع المكونات الأخرى مثل الرقاقات والأقطاب الكهربائية وغرف التفاعل وما إلى ذلك لضمان التدفق الموحد للغازات والسوائل المعالجة والتوزيع الموحد للمجالات الفيزيائية مثل المجالات الكهربائية والمجالات المغناطيسية، وبالتالي تحسين توحيد العملية وتكرارها في عملية تصنيع الرقائق، والمساعدة في تحقيق إنتاج شرائح واسع النطاق -وعالي الكفاءة-وعالي الجودة.

أداء جيد للعزل الكهربائي

تتمتع الحلقات الخزفية شبه الموصلة بخصائص عزل كهربائي ممتازة ويمكنها تحمل الفولتية العالية دون أن تتعطل. تتيح هذه الميزة للحلقات الخزفية لأشباه الموصلات أن تلعب دورًا عازلًا وعازلًا في المواقع الرئيسية مثل نظام القطب الكهربائي وأجزاء توصيل الدائرة لمعدات تصنيع الرقائق، مما يضمن سلامة واستقرار النظام الكهربائي أثناء عملية تصنيع أشباه الموصلات وتجنب تلف الرقائق أو حوادث الإنتاج الناجمة عن مشاكل كهربائية.

تطبيق السوق

تُستخدم الحلقات الخزفية لأشباه الموصلات في المقام الأول في ثلاثة مجالات أساسية لتصنيع الدوائر المتكاملة: الانتشار/المعالجة الحرارية، وترسيب البخار الكيميائي (CVD)، والحفر الجاف (الحفر).

عمليات الانتشار/الأكسدة/LPCVD

في أنابيب الفرن ذات درجات الحرارة العالية-، يتم استخدام الحلقات الخزفية (التي يشار إليها غالبًا باسم "مجاديف القوارب" أو "القوارب") لتكديس شرائح السيليكون المتعددة ودعمها أفقيًا أو رأسيًا. يجب أن يضمنوا تسخينًا موحدًا وخالية من التلوث-لجميع الرقائق عند درجات حرارة تصل إلى 1200 درجة. تستخدم حلقات سيراميك الألومينا على نطاق واسع في مثل هذه التطبيقات.

عمليات ترسيب البخار الكيميائي (CVD).

في غرف تفاعل الأمراض القلبية الوعائية، تعمل الحلقات الخزفية كمستقبلات أو بطانات للغرفة، مما يدعم الرقائق ويحسن مجالات تدفق غاز التفاعل. يعد التوصيل الحراري الموحد أمرًا بالغ الأهمية لتحقيق ترسب الفيلم بشكل ثابت. تستخدم حلقات سيراميك نيتريد الألومنيوم على نطاق واسع في هذا المجال بسبب موصليتها الحرارية الممتازة.

عمليات النقش الجاف

هذا هو أحد التطبيقات الأكثر تطلبًا للحلقات الخزفية. في غرف الحفر المليئة بالبلازما-عالية الطاقة والغازات المسببة للتآكل، تعمل الحلقات الخزفية كحلقات تركيز أو حلقات حبس أو بطانات للغرفة. وتتمثل أدوارها الأساسية في التحكم في انتظام توزيع البلازما، وحماية جدران الحجرة المعدنية من التآكل، وتقليل التلوث بالجسيمات.حلقات سيراميك من أكسيد الإيتريوم (Y₂O₃).أصبحت الخيار المفضل لعمليات الحفر المتقدمة نظرًا لمقاومتها التي لا مثيل لها لتآكل البلازما المعتمد على الفلور-.

استخدامات مساعدة أخرى

ويمكن أيضًا أن تكون بمثابة مكونات عازلة في أنظمة القياس أو النقل، أو كحلقات حدية في روبوتات معالجة الرقاقات

أداء المنتجات

رقم	أداء	وحدة	نيتريد الألومنيوم
			نيتريد الألومنيوم
			جي سي -AN-210	جي سي-AN-170
1	كثافة	جم/سم3	3.32~3.34	3.31~3.33
2	قوة الانحناء	MPa	340~360	400~420
3	صلابة الكسر	ميغاباسكال·م1/2	3.35	3.35
4	ثابت العزل الكهربائي	εr (20 درجة، 1 ميجا هرتز)	8.8~9.0	8.7~8.9
5	صلابة	المعدل التراكمي	12-16
	صلابة	لجنة حقوق الإنسان	75-80
6	مقاومة الحجم	Ω·سم (20 درجة)	10 10	10 10
7	معامل مرن	المعدل التراكمي	310	320
8	معامل التمدد الحراري	×10-6/k	4.8~5.0	4.5~4.7
9	قوة ضاغطة	MPa	2100	2000
10	سحجات	جم/سم2	0.01	0.01
11	الموصلية الحرارية	ث / م × ك (20 درجة)	200~220	160~180
12	نسبة بواسون	/	0.24	0.24
13	قوة العزل	كيلو فولت / مم	26~28	30~32
14	درجة حرارة	درجة	2500	2500

ضبط الجودة

من خلال الالتزام الصارم بنظام إدارة الجودة ISO 9001، فإننا نطبق مراقبة كاملة لجودة العملية- لضمان التسليم المتسق لمنتجات-عالية الجودة:

• فحص 100% للمواد الخام مع ضمان الجودة من المصدر
• الاستفادة من خطوط إنتاج الضغط الساخن-المتقدمة من أجل عمليات مستقرة وموثوقة
• نظام اختبار داخلي شامل-يغطي تحليل الكثافة والصلابة والبنية الدقيقة
• توفر -شهادات موثوقة من جهة خارجية (بما في ذلك SGS، وCE، وROHS، وما إلى ذلك، والتي يتم توفيرها عند الطلب)

نحن ملتزمون بالتحسين المستمر لنظام الإدارة لدينا، مما يوفر للعملاء ضمانًا ثابتًا وموثوقًا للمنتج.

certificate

لماذا تختار لنا

نحن مصنعون وموردون محترفون لمختلف حلقات السيراميك لأشباه الموصلات. لدينا مصنع وفريق محترف لإنتاج حلقات السيراميك لأشباه الموصلات. بالإضافة إلى ذلك، نحن متخصصون في الخاتم الخزفي لأشباه الموصلات ولدينا شركة في الولايات المتحدة. لنكون صريحين، نحن نقدم خدمة احترافية ومخلصة تمامًا. إذا كنت بحاجة إلى أي-حلقة سيراميك لأشباه الموصلات عالية الجودة أو شركات تصنيع سيراميك أخرى وشركاء خارجيين على المدى الطويل-، فلا تتردد في الاتصال بنا. نحن ندعم أي تخصيصات-عالية الصعوبة وسنبذل قصارى جهدنا لتلبية احتياجاتك.

إذا كانت لديك أسئلة حول ظرف السيراميك، يمكنك النقر فوق موقعنااتصل بنازر على الفور، ستكون هناك خدمة عملاء محترفة للإجابة على أسئلتك.
نتطلع إلى زيارتك!