حلقة السيراميك المولية لأشباه الموصلات

تشير الحلقة الخزفية المولية لأشباه الموصلات عادةً إلى مكون سيراميكي بالغ الأهمية يُستخدم في تصنيع أشباه الموصلات والمعدات الإلكترونية عالية الطاقة-. من المحتمل أن يكون مصطلح "Molar" في اسمه مشتقًا من علامة تجارية أو سلسلة محددة، ويشير عمومًا إلى الأجزاء الهيكلية ذات الشكل الدائري- المصنوعة من مواد سيراميكية عالية الأداء- (مثل الألومينا، ونيتريد الألومنيوم، ونيتريد السيليكون، وما إلى ذلك). من خلال الاستفادة من ثباتها الفيزيائي والكيميائي الممتاز، تؤدي هذه الحلقات الخزفية وظائف أساسية مثل العزل والختم وتحمل الحمولة ونقل الحرارة في البيئات الصناعية القاسية. إنها مكونات أساسية لضمان التشغيل المستقر والموثوق لغرف معالجة أشباه الموصلات، ومعدات الحفر، ومعدات الترسيب، ووحدات الطاقة.

• عزل كهربائي ممتاز: يمتلك مقاومة عالية الحجم للغاية وقوة عازلة، ويعزل الجهد العالي بشكل فعال، ويمنع تسرب التيار، ويضمن سلامة المعدات.
• الاستقرار الحراري المتميز: يتميز بمقاومة درجات الحرارة العالية-البارزة (غالبًا ما تكون قادرة على التشغيل على المدى الطويل-فوق 1000 درجة)، ومعامل منخفض للتمدد الحراري، ومقاومة التشقق في ظل التدوير الحراري السريع، ومقاومة جيدة للصدمات الحرارية.
• قوة ميكانيكية عالية: صلابة عالية، مقاومة جيدة للتآكل، مع قوة انثناء وضغط جيدة، قادرة على تحمل بعض الضغوط الميكانيكية وضغط التجميع.
• القصور الذاتي الكيميائي الرائع: يوفر مقاومة ممتازة لمعظم الغازات المسببة للتآكل، والبلازما، والبيئات الحمضية/القلوية القوية، مما يقلل من التفاعلات الكيميائية أو تلوث بيئة العملية.
• أداء جيد لختم الفراغ: يحافظ على أداء إغلاق مستقر في ظل درجات الحرارة العالية-وظروف التفريغ-العالي، مما يلبي متطلبات التفريغ العالي جدًا- لعمليات أشباه الموصلات.
• خصائص الإدارة الحرارية المثالية: تتمتع بعض أنواع الموصلية الحرارية العالية (مثل حلقات سيراميك نيتريد الألومنيوم) بموصلية حرارية عالية، مما يؤدي إلى توصيل وتبديد الحرارة المتولدة أثناء تشغيل المعدات بشكل فعال.

Material: Common materials include high-purity alumina (Al₂O₃, content >96%)، نيتريد الألومنيوم (AlN)، نيتريد السيليكون (Si₃N₄)، إلخ.

نطاق الحجم: يمكن أن يتراوح القطر الداخلي من عدة مليمترات إلى عدة مئات من المليمترات؛ يتم تخصيص القطر الخارجي والارتفاع بناءً على تصميمات محددة.

درجة حرارة التشغيل: يمكن أن يتحمل درجات الحرارة القصوى من 1200 درجة إلى 1800 درجة (حسب المادة).

الموصلية الحرارية: الألومينا حوالي 20-30 واط/(م·ك)؛ نيتريد الألومنيوم يمكن أن يصل إلى 150-200 واط/(م·ك).

مقاومة الحجم: عادة أكبر من 10¹² Ω·cm في درجة حرارة الغرفة.

قوة العزل: عادة في حدود 10-20 كيلو فولت/مم.

قوة الانثناء: سيراميك الألومينا حوالي 300-400 ميجاباسكال؛ يمكن أن يصل ارتفاع سيراميك نيتريد السيليكون إلى 600-800 ميجا باسكال.

• معدات تصنيع أشباه الموصلات: تستخدم على نطاق واسع في غرف معالجة المعدات مثل حفر البلازما (Etch)، وترسيب البخار الكيميائي (CVD)، وترسيب البخار الفيزيائي (PVD). تعمل كحلقات عزل، أو حلقات تركيز، أو بطانات حجرة، أو حلقات حماية لحصر البلازما، وحماية جدران الحجرة، وتجانس بيئة العملية، ومنع تلوث الجسيمات.
• وحدات الطاقة الإلكترونية: تُستخدم في تغليف الأجهزة مثل IGBTs، ومصابيح LED عالية الطاقة-، وأشعة الليزر كركائز معزولة لتبديد الحرارة أو حلقات دعم للعزل الكهربائي وتبديد الحرارة بكفاءة.
• أنظمة التفريغ: تستخدم للتوصيلات المعزولة، وأختام التغذية، وهياكل الدعم في أنظمة التفريغ العالية- أو فائقة--.
• -معدات معالجة درجات الحرارة العالية: تعمل كمثبتات أو بطانات للأفران أو عناصر دعم في أفران التلبيد وأفران المعالجة الحرارية.
• مجالات الطاقة والطاقة الجديدة: تُستخدم في معدات إنتاج الخلايا الكهروضوئية ذات الأغشية الرقيقة، ومداخن خلايا الوقود، وكمكونات عازلة في المعدات الكهربائية ذات الجهد العالي-.
• المعدات الطبية والبحثية: تعمل كمكونات رئيسية في الأدوات التحليلية والمسرعات وغيرها من المعدات الدقيقة التي تتطلب فراغًا عاليًا أو عزلًا عاليًا أو مقاومة للتآكل.

نحن نتبع بدقة نظام إدارة الجودة ISO 9001 لضمان الاتساق:

• فحص المواد الخام بنسبة 100%
• خطوط إنتاج -كبس ساخن متقدمة
• الاختبار الداخلي-: الكثافة، والصلابة، وتحليل البنية الدقيقة
• شهادات -الطرف الثالث (SGS، CE، ROHS متاحة عند الطلب)

الوسم : خاتم السيراميك المولي لأشباه الموصلات، خاتم السيراميك المولي لأشباه الموصلات المصنعين والموردين والمصنع